电子工业洁净室（区）的检测

洁净室（区）性能检测

3.1通则

3.1.1 洁净室（区）应定期进行性能测试。以认证洁净室（区）始终符合本规范的要求。

3.1.2 洁净室（区）性能测试认证工作，应由专门检测认证单位承担，并应提交检测报告。

3.1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试仪表应在标定证书有效使用期内。

3.1.4 洁净室（区）的占用状态应有空态、静态、动态，其性能测试和认证宜为静态或动态。
3.2洁净室（区）性能测试要求

3.2.1 确认清净室（区）符合本规范要求，应进行下列基本测试∶

1 空气洁净度等级测定；

2 静压差；

3 风速或风量。

3.2.2 空气洁净度等级、静压差、风速或风量认证测试的较长时间间隔应符合。
静压差和风速或风量认证的测试要求

注：1洁净室（区）运行中已对粒子浓度、风速、静压差进行连续监测，且其测试值均符合本规范要求时，认证的测试时间间隔可延长，具体时间间隔，可与认证单位洽商。

2 空气洁净度等级认证，可在静态或者动态检测，洽商确定。

3 风量测定，应采用风速计在风口或风管测定。

3.2.3电子工业洁净室（区）的认证测试，除空气洁净度等级、静压差、风速或风量测试外，还应根据需要进行规定的洽商选择测试项目。
洁净室测试方法
4.1 风量或风速的测试

1.1 对于单向流洁净室，应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，并应取离有效过滤器 300mm 垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格，每个栅格尺寸应为 600mm×600mm 或末端空气过滤器尺寸，测点应在栅格心点或不应少于3 点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、大值和小值，并应以算术平均值作为平均风速。

4.1.2  对于非单向流洁净室，每一点的测试时间不应少于10s。3 在每个末端空气过滤器或散流器处，应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量，每个测试位置的测点数不应少于3点。
4.1 风量或风速的测试

4.4洁净度的检测

4.1.1 应使用采样量大于 1 L/min 光学粒子计数器，应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。
4.4.4 当洁净室（区）仅有一个采样点时，则在该点应至少采样 3次。
4.5 气流流型的检测

4.5.1 气流流型的检测，宜采用气流目测法。

4.5.2 气流目测法有示踪线法、示踪剂注入法，并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室（区）的一种污染源。

4.5.3 示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等，直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。

4.5.4 示踪剂注入法，可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性，在高强度光源下进行观察或做成图像。

4.5.5 应采用图像处理技术进行气流目测，本法一般是与示踪法结合，将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。

4.5.6 气流目测的测点位置、仪器等，应根据洁净室（区）的具体条件洽商确定。
4.6温湿度的检测

4.6.1 温度、相对湿度的检测应在洁净室（区）内气流分布均匀状态测试，并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度、相对湿度检测应在净化空调系统已经运转，并应至少稳定运行 1.0h后进行。

4.6.2 相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格，每格较大面积应为 100m²，应每格—个测点，但每个房间不应少于 2 个测点。

4.6.3 检测用探测器应设在洁净室（区）内的工作高度，且距洁净室（区）的吊顶、墙和地面不应少于 300mm。并应考量洁净室（区）内 可能存在的热源的影响。

4.6.4 检测时间应至少1.0h，并应至少6min 进行 1 次（30s）读数、记录。
4.7 噪声检测

4.7.1 洁净室（区）内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。

4.7.2 洁净室（区）内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面 1.1～1.5m，距墙应大于 3m；检测点的布置宜按清净室（区）面积均分，宜每 100m²设一检测点。
4.8照度测试

4.8.1 洁净室（区）内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。

4.8.2 照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室（区）照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。

4.8.3 照度检测点应设在工作高度，宜距地面 0.85m，应每 25m²设一个测点。